あい 産業科学技術総合センタ ュ ス 2018 1 号
- 5 -
傷
あ
表 面 性 状
評 価 に つ い て
産業技術センタ 自動車 機械技術室 河田圭一 (0566-24-1841)
研究 マ： 削加工
担当 ： 削加工 精密測定
． じめに
機械部品や光学部品 表面性状 摺動特性
や光学特性 影響す 正確 計測
求 す 通常 表面性状 触針式表面粗
測定機 計測 表面性状 ラメ
タ JIS B 0601:2013 規定 い
す 評価方式 手 JIS B 0633:2011 詳
細 規定 ラメ タ評価 一般事
し 表面性状 ラメ タ 表面欠陥
記述 用い い ス
クラッチ 空孔 表面欠陥 表面性状
対象 し い い す し
し 故 原因 特定や摩耗特性 い
傷 あ 表面性状 定 的 評価し い場合
あ す JIS 規定 い
ウ ンフ タを用い 評価し 場合 不具
合 を解決す 方法 し ス ウ
ンフ タを用い 評価 い 紹介し
す
．ガウシ ンフ ルタ
表面性状 粗 短波長成 う 長
波 長 成 構 成 JIS B
0634:2017 定義 ウ ンフ タを
用い 離す 決 い す
中 ウ ンフ タ ッ フ値
い 50% 振幅伝達特性を持
輪郭曲線 成 を短波長側 長波長側 離
し 当初 輪郭曲線を変
化 く復元す い す
図 研削面 傷 あ 表面性状
い 触針式表面粗 測定機 測定し 断面曲線
を示し す う 特異点を持 断面曲線
を ウ ンフ タ 離し 粗 曲線
図 う 実 表面
1μm程度 盛 上 傷 近傍 現 す
ウ ンフ タ 求
長波長成 図１ 傷 影響 マ
ス側 ゆ す 影響 傷
幅や深 使用す ッ フ値 変わ
す
．ロバストガウシ ンフ ルタ
ゆ を抑制す 方法 し ISO16610
-31:2016 定義 ス ウ ンフ
タ 挙 す フ タ 均曲
線 タ 乖離 基 い を変え
演算す スフ タ す 図１
示す断面曲線を ス ウ ンフ タ
離し 粗 曲線を図 示し す ウ
ンフ タ使用時 見 傷近傍 盛
上 抑え い す
図１ 示す ス ウ ンフ タ
計算 長波長成 傷 影響し い
い 確認 す 以上 本
事例 う 傷 あ 表面性状 評価 し
ス ウ ンフ タ 効 あ
す ．おわ に
産業技術センタ 表面性状を測定す
触針式表面粗 測定機 位相 フ 式 渉
顕微鏡 顕微鏡 試料表面 合わ
計測を行 す 表面性状 い 困
事 あ ひ 相談く い
-6 -4 -2 0 2 4 6
0 1 2 3 4 5
Z
μm
X mm -6
-4 -2 0 2 4 6
0 1 2 3 4 5
Z
μm
X mm -6
-4 -2 0 2 4 6
0 1 2 3 4 5
Z
μm
X mm
図 傷 あ 表面性状 断面曲線
図 ｶ ｳ ｱ ﾌｨﾙﾀ 粗 曲線
図 ﾛﾊ ﾄｶ ｳ ｱ ﾌｨﾙﾀ 粗 曲線
ﾛﾊ ﾄｶ ｳ ｱ ﾌｨﾙﾀ
ｶ ｳ ｱ ﾌｨﾙ ﾀ
ッ フ値：0.8mm
ッ フ値：0.8mm Ra：0.35μm
