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半導体洗浄技術

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Academic year: 2018

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表 1- 2  要 素 技 術 の 分 類 ( 2/ 2)   要 素 技 術 Ⅰ   要 素 技 術 Ⅱ   要 素 技 術 Ⅲ   活 性 ガ ス   不 活 性 ガ ス   蒸 気   プ ラ ズ マ   光 ( 紫 外 線 、 レ ー ザ ー )   イ オ ン  洗 浄 媒 体 の 生 成 に 関 す る も の   複 数 の 組 合 せ 、 そ の 他   活 性 ガ ス   不 活 性 ガ ス   蒸 気   プ ラ ズ マ   光 ( 紫 外 線 、 レ ー ザ ー )   イ オ ン
表 1- 3  課 題 の 分 類   課 題 Ⅰ   課 題 Ⅱ   課 題 Ⅲ   洗 浄 液 ・ 媒 体 の 性 能 向 上   洗 浄 液 ・ 媒 体 の 均 一 ・ 安 定 化   洗 浄 液 ・ 媒 体 の 汚 染 防 止   効 果 の 均 一 化   効 果 の 安 定 化   表 面 改 質   特 定 異 物 除 去   微 細 空 隙 へ の 浸 透 性 向 上  洗 浄 ・ す す ぎ 工 程 で の 品 質 向 上   そ の 他   乾 燥 む ら 防 止   乾 燥 媒 体 の
表 1- 4  解 決 手 段 の 分 類 ( 1/ 2)   解 決 手 段 Ⅰ   解 決 手 段 Ⅱ   解 決 手 段 Ⅲ   無 機 主 成 分 の 改 良  洗 浄 液 主 成 分 の 改 良   有 機 主 成 分 の 改 良   無 機 系 組 合 せ   有 機 系 組 合 せ  洗 浄 液 の 組 み 合 わ せ 改 良   無 機 ・ 有 機 の 組 合 せ   界 面 活 性 剤   錯 化 剤 ・ キ レ ー ト 剤   腐 食 抑 制 剤  添 加 剤 に よ る 改 良   そ
表 1- 4  解 決 手 段 の 分 類 ( 2/ 2)   解 決 手 段 Ⅰ   解 決 手 段 Ⅱ   解 決 手 段 Ⅲ   そ の 他 配 置 の 工 夫   配 置 ( 処 理 槽 )   配 置 ( ノ ズ ル )   配 置 ( 支 持 体 )   配 置 ( 壁 )  そ の 他 配 置 の 工 夫   配 置 ( 工 具 )   運 搬 ・ 搬 送 装 置 の 改 良   運 搬 ・ 搬 送 装 置 の 改 良   密 閉 構 造   排 液 処 理 装 置   排 気 装 置   セ
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