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甲第 始 号証

陳 述 書

平 成23年2月23日

横 浜 市 緑 区長 津 田町4259

秦＼ 誠 奮

,

私 は, 秦 誠 一 と申 しま す. 陳 述 の機 会 を 与 えて 頂 き, 誠 に あ りが と う ご ざい ます, 私

は, 現 在, 東 京 工 業 大 学 精密 工 学 研 究 所 に て 准 教 授 を して お ります, 私 の 専 門 は, 機 械

工 学, 特 に マ イ ク ロ マ シ ン, M EM S( メ ム ス と 呼称, 微 小 電 子機 械 シ ス テ ム の 略 語) な ど

と呼 ばれ る微 小 機 械, お よ び そ の材 料 と して の 薄 膜 状 の金 属 ガ ラ ス を 始 め と した 金 属 系材

料 と, そ の 加 工 法 で す, 学 会 は, 主 に 日本 機 械 学 会, 精 密 〕 二 学 会, 応 用 物 理 学 会 に所 偶 し

て お りま す が, 日 本 金 属 学 会 の 会員 で は あ りま せ ん.

バ ル ク と は, 製 法 も用 途 も違 う薄 膜 状 の 金 属 ガ ラ ス とは言 え, 金 属 ガ ラ ス を 主 要 な研 究

テ ー マ の 一 つ と して 研 究 して い る一 研 究 者 と して, 今 回 の 裁 判 の 一 部 の 争 点 に つ い て, 私

の 記 憶 して い る事 実, お よび 専 門 家 と して の 所 見 を, 出 来 る 限 り客 観 的 か つ 誠 意 を持 っ て

陳 述 させ て 頂 き ま す,

<

私 は, 1994年4月 か ら1997年5月 ま で, オ リンパ ス 光 学 工 業( 現, オ リン パ ス) 株 式

会 社 に 勤 務 して い ま した. そ の業 務 の 一 環 と して, パ ル ク 金 属 ガ ラ ス の 応 用 分 野 を創 出す

べ く, 1995庫7月 か ら1997年3月 ま で

, 東 北 大 学 金 属 材 料 研 究所 井 上 研 究 室 に非 常勤

の研 究 生 と して, 会 社 か ら派 遣 され て い ま した.

そ こ で, 当 時 の 張 涛 助 手 か ら, 高 周 波 溶 解 法 に よ る銅 鋳型 鋳 造 法, お よ び ア ー ク溶 解 吸

引 鋳 造 法 に よ る パ ル ク金 属 ガ ラス の 製 法 に っ い て 指 導 を 受 け ま した. 実 験 に使 用 した 金 属

ガ ラ ス の 組 成 は, 本 裁 判 で 問 題 とな っ て い るZr s s A1i oN i s Cu30( at . % ) を 中 心 と したZr 基 の

金 属 ガ ラ ス で し た. 以 後, 特 に 断 りの 無 い 場 合 は, 前 記 組 成 の バ ル ク金 属 ガ ラ ス を, 単 に

Zr 慕 バ ル ク金 属 ガ ラ ス と呼 び ま す.

私 な りに本 裁 判 の争 点 の一 つ と して, い わ ゆ る 「1996年 論 文 」で記 載 され て い る よ うな,

直 径30m m のZr 基 バ ル ク金 属 ガ ラ ス が, 当 時 本 当 にア ー ク溶 解 吸 引 鋳 造 法 で 出 来 た の か

とい う点 が 挙 げ られ る と考 え ま す. こ の 点 に つ い て, 私 の記 憶 ・ 経 験 と, 現 在 の 専 門 家,

研 究 者 と して の 立 揚 か ら, 陳 述 させ て 頂 き ま す,

1, 直 径30皿m のZr 基 パ ル ク 金 属 ガ ラス サ ン プ ル の存 在 に つ い て

研 究 生 と して 井 上 研 究 室 に 出 入 り して い た 当 時, 1996年 秋 ご ろ と記 憶 して い ます が, 金

属 材 料 研 究 所 内 部 で, 張 涛 助 手 か ら直 径 が30m m の バ ル ク金 属 ガ ラ ス の 切 断 断 面 サ ン プル

を 見 せ て も らっ た 記 憶 が あ ります. 張 涛 助 手 か ら は, そ の サ ン プル がZr 基 バ ル ク金 属 ガ ラ

ス で あ る と告 げ られ ま した.

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サ ンプ ル が アモ ル フ ァス 単 相 で あ る か は, 正 硫 に はX線 回 折 法 に よ り詳 細 に調 査 す る必

要 が あ りま す が, 簡 易 的 に 調 べ る方 法 と して, サ ン プ ル の 断 面 を 鏡 面 に 研 磨 し, か る くエ

ッチ ン グ( 腐 食 処 理) す る 方 法 が あ りま す. こ うす る こ とで, 結 品 化 して い る部 分 が 、 ア

モ ル フ ァス で あ る部 分 と比 べ て 曇 る た め に, 目 視 に よ りア モ ル フ ァ ス 単相 か, 結 晶 相 が 混

入 して い るか を簡 易 的 に 調 べ る こ とが で き ま す,

私 も後 述 す る ア ー ク溶 解 吸 引鋳 造 法 で 直径 約15m m 程 度 のZr 甚 バ ル ク金 属 ガ ラ ス を 作

製 し, 同 様 の 手 法 で検 査 し て い ま した, そ の作 業 中 に 、最 初 に述 べ たZr 基 パ ル ク 金 属 ガ ラ

ス サ ンプ ル を, 張 涛 助 手 か ら見 せ られ た 次 第 で す. 目 視 の 限 りで は, 結 品化 に 伴 う曇 りが

見 られ ず, 非 常 に 「 美 しい 」 断 面 を してお り, 驚 い た 記 憶 が あ ります.

も ち ろん, 組 成 分 析 に 立 ち 会 っ た訳 で は あ りま せ ん の で, そ の サ ン プル が真 にZr 基 バ ル

ク 金 属 ガ ラ ス で あ る保 証 は あ りま せ ん し, 前 述 の 詳 細 な 調 査 結 果 を 見 た 訳 で も あ りま せ ん

が, あ りの ま ま を 陳述 い た しま した.

<

2, ア ー ク溶 解 吸 引鋳 造 法 に よ るZT墓 パ ル ク金 属 ガ ラ ス製 造 にっ い て

私 も, 添 付 す る 論 文 で 発 表 した よ うに, 1996年 か ら1997年 ご ろ ア ー ク溶 解 吸 引 鋳 造 法

に よ り, 直 径 約15血 血 のZr 垂 バ ル ク金 属 ガ ラ ス を 作 製 し, そ れ を サ ン プル と して金 属 ガ

ラ ス の過 冷 却 液 体 域 で の 精 密 成 形 に 関 す る研 究 を行 い ま した.

そ の経 験 と 自 らの 実 験 結 果 か ら, 専 門 家 と して 以 下 の2点 を 陳 述 い た しま す 、

( 1) 当 時 の 技 術 レベ ル で, 確 率 的 で あ るが, 少 な く と も直 径15皿 皿 レベ ル の ア モ ル フ ァ

ス単 相 のZr 基 パ ル ク 金 属 ガ ラス は作 製 可 能 で あ る こ と,

( 2) 再 現 は極 め て 困 難 と推 測 され る が, 確 率 的 に 直 径30m m の サ ン プ ル 作 製 も不 可 能 と

は 考 え られ な い こ と.

こ こで, な ぜ 確 率 的 な の か, な ぜ 再 現 が 困 難 な の か と い う点 にっ い て, 簡 単 に ご説 明 い

た し ます. 私 が 当 時 の ア ー ク 溶 解 吸 引 鋳 造 法 に使 用 した 装 置 は, 大 亜 真 空 製 の ア ー ク 溶 解

炉 を 井 上 研 で 改 造 した もの で した 、本 装 置 で は, 直 径15m 血 程 度 の バ ル ク金 属 ガ ラ ス を吸

引 鋳 造 す る こ とが で き ま す, 銅 製 の水 冷 バ ー ス の 底 の 部 分 に 吸 引部 が接 続 され て お り, そ

の 吸 引部 に水 冷 ロ ッ ド が 挿 入 され た状 態 で, Zr 蒋 バ ル ク 金 属 ガ ラス の組 成 と な る よ う調 製

され た 素 材 の ア ー ク溶 飾 を行 い, 溶 解 した状 態 で 水 冷 ロ ッ ドを 空 圧 シ リン ダ で 下 方 に 引 き

ぬ き, 溶 解 した サ ン プ ル を 吸 引 部 に吸 引 し冷 却 す る仕 組 み で した 、 これ ら一 連 の動 作 はす

べ て 目視 お よび 手 動 で 行 い, 両 手 で ア ー ク溶 解 の 電 極 を 操 作 し

, 目 視 で 十 分 溶 解 して い る

状 態 を確 認 後, 足 元 の フ ッ トス ィ ッチ で 空圧 シ リン ダ を 作 動 させ, 吸 引鋳 造 し ま す.

こ の 時, 自 分 自 身 で 見 出 した の で, 鮮 明 に記 憶 して い る の で す が, ア ・ 一ク を 止 め る こ と

な く, 溶 解 させ な が ら フ ッ トス イ ッチ を 作 動 させ 、 吸 引 と ほ ぽ 同 時 に ア ー ク を 停 止 させ る

と い うア ク ロバ ッ ト的 な 作 業 を 行 わ な い と, j J 径15m m の サ ン プ ル で も, 結 品 相 が 混 入 し,

そ の 後 の 実 験 に耐 え るサ ン プ ル が 作 製 で き ま せ ん で した. こ れ は, 溶 融 した サ ン プ ル が 吸

引 部 に 流 入 し冷 却 され る 直 前 ま で, な るべ く高 い 流 動 性( す な わ ち 良 好 に溶 解 して い る状

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櫨) を 保 ち, か つ, 吸 引 後 は 速 や か に 冷 却 す る必 要 が あ る た め に で す. 流 動 性 が悪 い( す

な わ ち 吸 引 され る 前 に 冷 却 が 始 ま る) と, 一 部 固 化 した サ ン プ ル が 吸 引 され, 結 晶相 が 混

入 しま す. ま た, 吸 引後 も ア ー ク溶 解 を して い る と, 吸 引 後 の サ ン プ ル の 特 に 上 面 が加 熱

され て, や は り結 晶 化 の 原 因 と な ります,

この ほ と ん ど職 人 芸 的 な ノ ウハ ウ無 く して, 当 時 の 装 置 で は ア ー ク溶 解 吸 引 鋳 造 法 に よ

る大 口径 の サ ン プ ル は 出来 な い と断 言 で き ま す. そ の タイ ミン グ は 非 常 に微 妙 で, 直 径15

m 血 の サ ン プ ル で す ら, 数 回 に 一 度 の確 率 的 に しか製 作 す る こ と は で き ま せ ん で した. し

か し, 工 学 分 野 の 論 文( お よ び 特 許) の 常 識 と して, こ の よ うな職 人 芸 的 ノ ウハ ウは, 記

述 しな い もの で あ り, そ の 記 述 が 無 い か ら と研 究 者 倫 理 を 間 わ れ る もの で は あ りませ ん、

本 裁 判 で も争 点 の一 っ とな づ て い る横 山 らの い わ ゆ る 「2007年 論 文 」 で の キ ャ ップ キ ャ

ス ト 法 は, こ の職 人 芸 を工 学 的 に解 決 した もの と言 えま す. し た が っ て2007年 論 文 にお い

て, 同 じ組 成 で の 直 径30m m のZr 墓 パ ル ク金 属 ガ ラス が作 製 され て い る 以 上, 1996年 論

文 と2007年 論 文 で は, 装 置 や 鋳 造 法 が 異 な るか ら, 直 径30皿 皿 のZr 墓 パ ル ク金 属 ガ ラス

が 製 作 で き な か っ た とい う主 張 に は, 論 理 的 矛 盾 が あ りま す.

<

最 後 に 私 と井 上 明 久 東 北 大 学 総 長, お よ び 横 山 嘉 彦 准 教 授 との 関 係 に つ い て, 簡 単 に述

ぺ させ て 頂 き ま す. 上 述 の よ うに井 上 総 長 は

, 金 属 ガ ラ ス に 関 す る私 の 恩 師 で す, ま た,

オ リ ンパ ス 在 籍 当 時, 当 時 の 新 技 術 事 業 団( 現 科 学 技 術 振 興 機 構) か らの 研 究 助 成 「 金 属

ガ ラ ス の 応 用 」 を 当 時 の 井 上 教 授 と典 に, オ リンパ ス 側 の代 表 研 究 者 と して 共 同研 究 い た

しま した. 研 究 助 成 額 は 約3, 600万 円 と記 憶 して い ま す, 言 うま で も無 く, こ の研 究助 成

は, 当 時 の 規 則 に則 り適 正 に審 査 され た 上 で, 採 択, 執 行 され た も の で す.

ま た, 現 在, 井 上 総 長 と は 公 務 上 の 関係 は 一 切 な く, 個 人 的 に も年 賀 状 の 交 換 を行 う程

度 の お 付 き合 い で す. さ ら に, 横 山 嘉 彦 准 教 授 に っ き ま して は, 同 分 野 の 研 究 者 と して の,

知 り合 い 程 度 で, 直 接 お 話 し した こ と も数 回 程 度 で す. 従 い ま して, 両 者 と私 の 間 に は,

直 接 的 な 利 害 関 係 は, 一 切 存 在 しな い と言 え ます. む しろ 本 陳 述 書 を提 出 す る こ とで, 本

件 に 巻 き 込 ま れ る社 会 的 リス ク を 私 白 らの 責 任 に お い て 負 い な が ら, 当 該 分 野 の研 究者,

専 閂 家 と して の 良 心 の み に従 っ て 陳 述 い た しま した.

以 上, 私 の記 憶 して い る事 実, お よ び 専 門 家 と して の 所 見 を あ りの ま ま に 陳 述 い た しま

した.

3! 3

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TheJ apanε 。C⊥ 。t y。 だMeehanSc al Enyi neeT日

2080

] 本 機 械 錦 会 論 文 」寝( c 鰯) 65巻G33号( 1999- ・5)

論文No. 98・1238

金 属 ガ ラス の精 密 ・ 微 細 加 工 に 関 す る研 究*

( Zr 基 金 属ガ ラスの過冷却液 体域 における成形性)

秦 誠 一 Ψ 1, 山 田 典 弘*2, 早 乙 女 康 典*M

井 上 明 久 壁 下 河 辺 明 ホ1

Pr ec i 5i ona11{ l Mi c r oM乱c hi ni ngof Met al l i c Gl as s es

( For mabi l i t yof Z. 1・1≧a呂edMet 亀 し11j c Gl " s s eδi nt heSl l per c ool e{ i L董qu量dSt at e)

Sei i c hi HATA, Nor i hi r oYAMAD. 〈, Yas i mor i SAOTOME, Aki hi s uI NOUEar 】dAki r a$HI MOKOHBE

Amor Pl aau. RξL11⇔y5Wi t hヒhes vi c l ヒH, u; } evc ( , `} l ed】i ( : i ui c l r ' e宮 【く加1ur c c al l c dmeしf l l l i c 尽1a95e3, ⊥11じhe s upevc ool edl i qu1dおt at a, しhemeしul l i c gl " s s es ex' hi bi t s t : t per ' p] as 亡i c i [ y, whi ehgugge￡t s t hEs p帖, gi l ) i l f t SeH

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LheSur f uc c r ough11卵 日( ⊥ くmax) , 90nm、Thi s s , uper pl . f t s t i c f or mi 叫 ξof 由eZr bas edmet amc F, l as : , es i s expec 亡edt 凸boL1皐edf r ) r t hepr t ♪du( ; r , i or ) ⇔f 、" s r S`♪u8c omponenこt i of hi ghpr c c i s i 叩andi nt : r i c f l t eb' haPe.

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< 1、 緒 言

近 年, 井 上ら`1) ∼`' 1》に より 開 売さ れ た 金 属カ ラス は 明 瞭 なガ ラ ス 遷 移 蹴 励 とJ 城10K以 上 に およ ぶ 広 い 温 度 幅 を 有 する 過冷 知 液 体域を 発 現 す る ナ モ ルフ ア ス 合 金 で ある. 金 属 ガ ラス は, 現 左La濫, Ti 甚,

Zr 鵡, Fe萬 など, 梯 々 な 多 元 粟 合 金 系 で 発 見 さ れ て お り, そ の 物 性 や 過冷 却 液 体 域で の 慶 形 挙 動, 非 晶 質の 安 定 性 等 に っ い て 活 発に 研 究が 行 わ れて い る. こ 圃}

∼11f i 》

金 属 ガラ ス は, 従 来 のア モ ルフ ア ス 台 金 に 比 べ二 桁 以上 低 い10EK/ S以 ドの 臨 界 冷 却 速 度を 有 す る た め, 鋼 鋳型 へ の 鋳 遁 により, 従 来粉 体, 線 材ま た は 箔 のみ が 可 能 で あr ) た ア モ ル フ ァ ス 合 金 を 厚さ 数mmか

ら 畝10mmの バ ルク 秘とし て 型 造す る こと が 可 能 で ある. さ ら に μ過 冷 却 液体 状 態 では, 金 属 ガラ ス の 粘 性が 極 端に 低 ドし て 超塑 性 状 態 と な り, 鋳 造に よ り製

耶 ∫戻 稿 舜イ・∫19981, F

・8∫=コ: s l d. 朗J J 三員

, 乗 京工粟大宇鞘讐} 工宇 研究所{ 尋2Z6- S503鋤 浜市 繰区

艮淵咄4259) ,

・1オ リ ンパス! 〉¥1単ごに粟( 株 〉( ⑰ユ92r OO23八j E・ 子 市久1呆1川1『2-

3) , 庫: `刀三貝

, 群 馬火例1二 学郁( l l ! V: S7r ) ・OO; b2炸I I ∫1柿火1} l l l 田丁1・5- 1) , , 4束 北火掌金 属材料研窪所《GZELgS{ 1_{一ロ趾2仙 台r l ゴi L欄 区∫ヤ平2'}

1- ⊥ 〉.

E・mui l i s hnt m@pi . t i t eah: l l a. j p

作さ れた パ ル ク 材を様 々 な 形 状に 変 形ぎ せ るこ と が 可 能 で ある. ま た, 金 属 ガ ラ ス は 偏 折, 結 晶 粒 界 等, 結 晶 柵 遁に よ る 異 方 性 が 本 賓的 に 存 左 しな い 算 質 ・等 方 性 材 料 で ある. こ の よ う な 特 徴を 持 づ 金 属ガ ラ ス の 応 用として, 超 塑 性 成 形 に よ る 盆 型 や 精 宙 部 品 の 製 作豊 超 塑 性 状 態 で の 引 張 に よ る 微 細 針, 微 細 智 な との 精 密 部 品 や 微 細 樒 造 休 へ の 適 用 が 期 祷さ れ る. し かし, 金 属 ガ ラ ス の 特 性に 応じた 精密 ・微 細 加工 法 の 開 発, お

よ び 加工 精 塵 の 隈 界 に つ い て は 未だ 検 肘さ れて い ない 、 本 報 で は, 二 種類 のZr 基 血 属ガ ラ ス( ZP75CUt gAI G お よ びZr 55Cu30AhoNi 匠 添 宇 はat omS￠%) を 用 い て, モ の 加工 法と し て 過冷 却 液 体 城に おけ る 超塑 性 を利 用 し た 精 密成 形 を 試 みる. そ のた めに ま ず, 金 属ガ ラ ス の 過冷 却 液体 城で の 成 形 加 ⊥ 襲固 を 試 作す る, 次 に, 圧 縮 応力 下 で の 流 動 騎 性, 圧 縮 ひ ず み 及 び 加 熱に よ る 結 晶 化の 影 樽 を 囮 べ 加 工 性を 評 価す る. ま た, 糟 密 研 摩 球を 金 型 と して 様々 な 成 形 温 度 下 でZエ ●基 盆 属 ガラ ス を 成 形 し, 成 形 面 の 形 状 緬 度 を 測 定 して, こ のよ う な 加 工 法に より実 現 でき る 形 状 精 度 の 限界 を 評 価す る. さ ら に 応 用 事 例として, 光 学 素 子 の 試 作 を 行 う.

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金 属 ガ ラ ス の柵 密・微 棚 加 工 に 関 すろ研 究

2, 金 属 ガ ラ ス 過 冷 却 液 体 域 成 形 装 置

図1は レZr 茎 金 属ガ ラ スを過冷 却 液体 城に 加 熱, 加 工 する た め に 試 作し た 実 験 藤置 で ある,

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本 実験 装 置 では, 試 験 片 およ び 金 型 の 酸 化を 防 止 す る た め に10- ZPEの 冥空 到 運 廣 を 有 する 真 空 チヤ ン パ 内に, 金 型, 試 験 片} 加 獄 騎 置, ポ ン チを 図1の よ う に 配 齪 し た 構 造と し た. ポ ン チ の 先 端 部, 金 型 は 実 験 の 梱 類に より, 適 宜 交 換 して 便用 する.

金 型 及び 試 験 片は, 四 個 の 棒状 ハロ ゲ ンヒ ー タに よ り 輻 射 加 勲す る. 鼠 験 片 の 温 慶は ♪ 試 駿片 ま た は試 験 片 近 傍の 金 型に 取 り付 け た 熱 魅 対に より 測 定 しPI D 温 慶コ ン ト ロ 旨 ラを 用 い て 試 験片 の 加熱 遮度, 目 標温 度を 座 化さ せる. さ ら に 複 敷 の 熱 電 対に より 畠 加工 時 の 金 型 漏度, 炉 温も 同 時に 測 定 でき る よ う に な っ て い る. ま た, ACサ ー ボ モ ー タと ポ ー ル ネ ジを 用 いた 直 動 機構 により ポ ン チ を 躯 助 し, 試 験 片を 圧 縮す る. 圧 縮 荷 田は1N' v3kNの 範 囲 で 設 定 可 能で ある.

3. Zr 基 金 属 ガ ラ ス の 製 作 と 加 工 性

3・1Zr 基 金 属ガ ラ ス の 製作と 物 性 値 試 験 片 と し て 用 い たZエ ・基 金 属ガ ラ ス の バ ルク 耕 は, 次 のよ うに 製 作 し た.

ユ) 所 定の 組成 に な るよ う秤 量 し た 構 域元 素を ア ーク 浩 解に より溶 解 ・撹 神し て 母 台金 を 製 作 する, 2) 次 の 工 程で の 鋼 鋳 型 へ の 注入 を 容 易 と する た め

,

2081

こ の 母 合 金 を 石 英ノ ズ ル に 入 れ, ⊥O' 2Pat 以 下 の 瓦 蛾 中 に て 高 周 波 溶 解す る.

3>溶 解 し た 母 合 金を 鋼 釘 型 へ 鋳 造 す る. 銅 鋳 型の 熱 伝 増 俊が 高 い た め, 母 合 金 は 急 冷 さ れ 搾 晶 賀 の 金 屈ガ ラ ス に なり, 丸 神 状 の 金 属ガ ラ ス バ ルク 材 が

製 作さ れる, ・

製 作で き る バ ルク 材の 最 大 径 は} Zl ・7s CULgA16は6mm, Zr SSCu3aAl i oNi 5は12r nmで あっ た. 鯛 造 可 能 な パ ルク 材 の 湿 大 徹 の 藻 は, 両 金 属 ガ ラ ス の 臨 界冷 却 速 展の 差 に よ ウ て 生じ て い ると 考 えら れ る. 喪1に, 製 作 した Zτ 払 金 属 ガ ラ ス の 物 惟 値 の 測 定 結果 を 示 す 幽

Tabl e. 1Mal c r 量 血1v日 】ues of Zr bas odm￠t M] l i c gl " SSCt i

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Zr 75CいoA16 Z酢S直Cロ30Al 50Nl 5

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扱1よ り1弾 捌三限 界は2%で ありJ 通 常 の 結 晶 金 属 に 比 べ 十 倍程 度 高い 値で あ る こ と が わ かる, さ ら に, 両Zr 甚 金 属ガ ラ スとも, 硬 さHV500以 上, 引 張 強 度1, 0GPa以 上で ありJ 金 型 に 一 般 的 に 便 用さ れる マ ル テン サ イ ト系ス テ ン レ ス 鋼( SUS420J 2) の 引 張強 度0. 9GPa, 硬 さHV540に 近 い 値 で あ

る ことがわ かる( 17} . こ れら の 結 果よ り, 打 頻など 塑 性座 形が 間 題と なる 金型, 光 学 部 品 に 適す る 材 質で あ

る と 考 えら れる.

3. 2圧 縮 応力 下の 流 動 特 性Zr 7s Cul gA16

は, 試 験 片 温 腱680K, 700K, 710Kに おい て, Zr 55Ch30AhONt 5は700K, 7201く, 740Kに

お い て, 荷 厘600Nで 圧 縮成 形を 行っ た. 試 験 片は 鋳 造 した 棒 状 案 材空, 機 械加 工に より 直 径5r nm⊃ 高 さ5mmの 円 住 形とし, 両 端 面 を 約0. 6μmRmax

に 研 磨 した. 試 験 片の 端面と ポ ン チ 端 面, 下 型 と の 摩 擁 を 低減 する 為に, ポ ン チ 端面 およ び 下 型 農 面に 固 休 潤 滑剤( 粉 未BN) を 塗 布し た. 真 空 チヤ ン パ内 部に 金 型 及び 試 験片を 祉置 し 、チャ ン パ 内を10" apaま で 排気し た 徒, 誠 験 片 を 自標温 度ま で 加熱し た. 賦 賊

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11- 03- 14; 01: 38PMl 大 室法径事務所

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; 0335815775 #13/ 22

2082 金偶 ガ ラ スの糟 密・微細 加 工 に悶 す る研 究

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片 が 目標 温 産に 到 遡 後, ポ ン チ を 駆動し荷 亟 を 加 え た, こ の 時 の ポン チ の 翌 位 を 差 勤 蛮 圧器( LVDT) で 測 定 し, そ の 蛮 位より賦 験片 の ひず みε を 測 定 した. 牽 た こ の 時 の 試 験片 の 真 応力σは, 圧 縮前 の 試 験片 の 寓 さh。1体 積V, 荷 重Pと する と, 体 積 一 定 として 式 ( 1) に より与 えら れる.

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( 1)

実 験で 得ら れ た 各 温 度 に お ける ひ ず み εを 数値 的 に 微 分し た ひ ず み 速 慶dε / dt と. 式( 1) よ り戒 め た 翼 応 力σ と の 関 係を 両 対数 グ ラフ上に プ ロ ット した 締 果を 図2に 示 すv

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変 形 初 期はm置1で あ る が, 変 形 に 伴い 次 第にm値 が 低 下す る. 1応 力20MPa付 近 ではm=0. 3裾 慶 とな り, 超 塑 性発 現 東 件と さ れるm≧O、3の 下 限崖 で 低 下 し 、 硫 勘 性 が 悪 化して い る こ と が わ かる. こ の 原 閃 の 一 つと し て, 金 属ガ ラ スの 物 性 の 変 化, 特 に 加 熱, ま た は 変 形 の 影 響に より結 晶 化 が 進 行し た 可 能性 が 考 えら れ る. Zr 基 血 属 ガ ラ ス は 結品 化 が 進=行 する と 脆 く な る 杵 質 が あり, そ の 優 れ た 機 械 的 性 質 が 損な わ れる 恐れ が ある. 従 っ て, 結 晶 化に つ い て は, 次 節 以 後 で 詳 し く調 査 す る,

r n=1で あ ると い う こ とは, Z1' 基 金 属 ガ ラ ス の 屈 縮 応力 下 で の 褒 形が, ニ ュ ー トン 流 体と し て の 粘 性流 動で ある こ と を 示 唆し て い る. し たが っ て, m=1の 領 域で は 軸 度η を 導 入し て,

σ=η( dε/ dt )

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と 盈 ずこ と が でき る{ i O) , 従 っ て, 図2のm=ユ の 頒 域 に お ける σ とdε/ Cl t の 閣 係 を 最 小 二 粟 法で 式( 3) の 直 綿に 近 似 し 。 そ の 傾 き より求められた 粘 度η と 絶 対' 温 慶丁 の 逆 数( 工/ T》 との 闇 係 を, 図3に 示 す.

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ここ で, 実 験 結 果を 超塑 性 現練 の 示 性 式c 船( 2) に あ て は め, 図2の グ ラ フ の 傾さ… , す な わ ち, ひ ず み 翅 度 感 受 性 指 数mの 値を 求め る.

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1, 341. 36L381, 401, 42L441▼t l Gl , 48

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図3よ り, 液 体 の 粘 度 が 温 度に 対 し て 指数 関 数 的に 1威少 す る, AndTadeの 筑( 20] が 成 立 する.

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σ=K( d・ ε/ dt ) "

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図2よ りZr ? r J Cul gAl eに づ いては レ 全ての 試験片温塵 で. ま たZr Es Cu30Al l oN' Ls の 試験片温度7QOKお よ

び720Kで はm=工 と み な せ る.

し か しZr 55CuコoAhnMGの 試験片温度740Kで の

ここ で, Aは 定数7Rは 気 体定数 、Eは 活性化 エ ネル

ギであ る. 本 実験に より 求めら れたZr 韮 金属 ガラス の活性化工ネルギはs Zr 7s Cul gAi s =2、5×10VJ / mol ,

7, v55Cu30Al i oNi f i =44×10SJ / 口ol で あ っ た.

精 密 成 形刀U⊥に よ り 製 遁 さ れ る 光学業子 に 用 いら れ

る 酸化物 ガラス( シeッ ト社製SF月, SK1等) の 活性化

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NI 工 口Eユeqt r oni c Z」i bTar ySer vi Cl

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11- 03- 14; 01: 38PMl 大 室法裡事務所

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s i UJ Mガ ラ スの 糟密 ・徽 細 加 ユニにt u`1・i r る研 究

エ ネ ルギ はE=1∼10×105J / 皿01租 度( 2≧} で あり, 上 記 のZr 基 金属 ガ ラ ス に 近 い 値 で ある, 式( 4) か ら 明ら か なよ う に, 活 性 化 工ネ ル ギ は 粘 性 の 温 度に 対 す る 感 母 性を 識 す. 従 ワ て, Zr 蕊 金 属 ガ ラ ス の 過 冷 却 液 休 域に おける 粘 性の 温 度に 対 す る 感 愛 性は 邑 酸 化 物 ガ ラスと 同 等で あ ると雷 え5. さ ら に, Zr 甚 金 属 ガラ ス の 過 冷 却該 体 域 で の 粘 度 はユO且OPa・9前 徴で あり ♪ こ の 値 は 糟 密 成 形 時 の 酸 化 物 ガラ ス の 粘麗佃}

と 同 程 度で ある, 以 上 の 結 果か ら, Zr 盈 金 屈 ガラ ス も 酸 化 物ガ ラ スと 岡様の 威 形方 法 で, 綱 密 成 形 加 工 が ' 可 能 である こと を 示 唆し て い る

.

3・3Zr 甚 金 属 ガラ ス の 温 度 安 定 性 以 上 の 結 果よりJ ZT基 金 瓶 ガラ ス は, 広 い 温 度 幅の 過 冷 却 液 体 域に おい て, ニ ュ ー トン 流 体と し て の 粘 性流 助 を 示 し, 酸 化 物ガラ スと 岡 椴 の 糟 密 成 形加 工 が 可能 で あ る こ と を 示し た. し かし, 金 属 カ ラ ス は, 非 品 質 合 金 で あ り, 過 冷 却 液体 城 へ の 加 熱 に より酸 化 物ガ ラ ス に 比 べ 短 時 間 で 績晶 化 が 発 生 する, す な わ ち, そ の 非 温 質 相の 温度 安 定 性に より成 形 加 工 の た め の 加 照 許 容 時 間 が 制限 さ れる. そ こ で, 過 冷 却 液 休 域 内 の 各 温 度 に おけ る 結晶 化虫 で の 時 間を 測 定し た,

図4に 製作し たZr 鰭 金 属ガ ラ ス の 温 度 一 時 間 変 態 曲 線( T【mo旧TOmpε r 肌ur e- Tr ah5f or mat i ondi agr ai ' n, .

T. T. T曲 線) の 測 定 紹 果を 示 す, 760

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2083 測 定に は 示 差 走i 査 熱 盆 計( わSC) を 用い, 加 熱速 度 0、7K/ s で 目 標 温 度ま で 試 験片 を 加 熱 し, 紬 晶 化 に よ る 発 熱 皮 鄭 が 児 られた 暁点( 吊 吉晶 化 開 始) ま で の 加 熱保 持 瞬 間 を 測 定 し た. 図4よ り, 本i 粟 険 で 用 い た 2租 類 のZτ ・苗 金 閥ガ ラ ス と も 過冷 却 液 休 域 中 央 付 近 ( 衷1のTgとTxの 中 間 の 温 度 付 近) に おい て 数100 秒 加 勲 保 持 しても 結 晶 化 せ ず, 黙 実 験 で 用 い たZr 策 金 属 ガ ラ ス は, 非 晶 質 相が 高 い 安 建 性を 示 す こ と が 判 明し た.

こ の こ と は3. 2節 で 測 定 した 活 性 化1エ ネ・ル ギ から も推測 で き る. す な わ ち 活 性 化 工 ネ ル ギ が 斑 い 程, 構 成 原 子 が 拡 散 し にく く核 発出 が 起き に く い た め 含非 晶 質 相 は 賓 定 で あ ると 曽 えられる. 従 ってZr 7s Cul gAユGに 上ヒベZr 55Cu30AI l oNi 51ま 。 約1. 6作 キ, 活4生 化 」ニネ ルギ が 高く, よ り非晶 質 細が 安 定と 智 えら れ る,

4. 過 冷却 液 体 域 で の 圧 縮 に よ る 結 晶 化

740

720

700

680

10i 1び ユ0畠 ₁₀₁

4. 1圧 縮 による 結晶 化の評 価方法 本実 験で 使用したZr 基 金 属 ガ ラ ス は 散 ユOKに およ ぷ広 い 過冷 却 液 体 域を 宥 し, そ の 粘 轍流 助を 利用した 各 租 加工 法 が 考 えら れる, し かし, 図4のT. T、 丁山 線に も

承 さ れる よ う に ア モ ル フ ァ ス 合 金 で ある 盒 閥 ガ ラ スを 。 結 品 化 開 始 温 度 近 くに 加 熱 す る た め, 加 黙 保 持 時間に

よ っ てl t 結 晶 化 が 生 じ る 、 ま たレ 図2で 示したm値 の 測 定 結 果 から も, 過 怜 却 液 体 域で の憂 形に よ っ て, 結 晶 化 が 促 迦さ れ る 町 能 性 が 存 在す る こ とが わ か る 、

そこ で, 流 動 特 憔を 調 査し た 典 験と 同 様の 蔑 置, 鼠 験 片 およ ぴ 奨 願条 件を 用 い て, 過 冷 却 液 体 域 の 各 賦 験 片 温屋 で ひ ず み の 異な る 圧 縮を 行っ た 試 験片 の 結晶 化 串 を 求 め た.

図5に ひ ず み を 与え た 後の 試 験片( ZP55Cu30AI I DNi " " ) の 外観 を 示 す1図5よ り, O. 6以 上 の 庄 樒 ひ ず み 与 え ても、割 れ なと を 生 じ る こ と な く加 工 が 進 行 し て い る 様 子が 槻 黙 でき る,

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ま た, 図6に 賦 験 片 温 度720Kで 圧 縮 し た 試 験片 ( Zr s s Cu30Al l oNi 5) のX線 回 折 像 を 示 す.

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11- 03- 14; 01: 38PM; 大 室法裡事務所

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(弓三石に)者旨。ぎ

2084 企 属 ガ ラ ス の鞘 密 。微 細 加 工 に関 す る研 究

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図6に おい て, ア ニ ー リ ン グ し た 試 験 片( ひ ず みO) のア ニ ーリ ン グ 時 間 は 、 試 験片 に ひ ず み0. 7を 与 え る の に 必 要 な 時 間( 600秒) と 同じ と し た. 図6よ り ひ ず み の 増大 に と も なっ てX線 回 折像 に 急1唆 な 級 数 のピ ーク が 現れ ♪結晶 化 か 進 行 してい る こ と が 明 かと な っ た. ア ニ ーリ ン グした 賦 験片 が 絡 晶 化 してい な い こ と, さ ら に こ こ で は 測 定 値を 省 略す る が, 圧 縮 中 の 賦 験片 温 度 は 上 昇し て い な い こ と から, ひ ず み0. 6

5及 びO. 7の 試 験 片 は 変 形 の 影 響 に よ り繍 品 化 が 進 行し たと 暫 えら れ る.

4, 2圧 締 ひ ず みと 結 晶 化 耶 の 閥 係EE縮 さ れ た 賦 験片 の 結晶 化 耶 は, 各 試 舳片 のX腺 回 折像 の デ ー一 タ か ら 式( 5) `こ より求 めら れる.

観 測さ れず 良 好 な 非 晶 質 状 態 で あっ た.

図7よ り2r ? 5CUI gA工t i を 試 験 片と し た 場台, 試 験 片 温 度に 開ら ず, 各 ひ ず みに お け る 結 晶 化 率に 有 為 な 差 は 見ら れ な か っ た, 全 体 的 に 数%の 結 晶 化 が 発 生し て い る ヵ転 こ れ は 主 に 測 定 誤 漣と噌え ら れる.

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こ こ で, λ1紹 晶 化 串pr c r y=圧 縮 後 の 鼠 験 片 に お け る 結 晶1部 分のX線 回 折 強 度, I amo=圧 縮 後 の 試 験 片に お ける非晶 質 部 分 のX線 回 折 強 度, 2θ 。1回 折 角 の 下 限、2θ. : 回 折 角 の 上 限 であ る. ま た 回 折 デ ー タ から 箔 晶質 部 分を 分 離 する に はj 測 定さ れ たX線 回 折 軌 度 曲 線の極小 点に 一 致 するGuus s 分 布 を 最 小自 乗 法 に より 求め, こ のGaロBS分 布を 結 晶 賞 部 分と 非品 質 部 分 と の 境 界と し た. 図7に 弐( 5) か ら求め た, 圧 縮 成 形 し た 各 試 験 片の 結晶 化率 を 示 す. 図7に おい て ひ ず みOに お け る 緬品 化串 は, ア ニ ー リ ン グした 試 験 片 の 縞品 化 率 であり, ア ニ ー リ ン グ 時 間 は 各 試 験 温 度 の 戯 験 片を ひ ず み0. 7ま で 圧 縮 する のに 要す る 峙間 と 同じ とし た. ア ニ ーリ ン グ 前 の 試 験 片に っ い てX繊 回 折 法 により結 晶 化を 調 ぺ たが 、 績 晶 化に 伴う ピ ーク ぱ

一 方

, Zp・" ・J Cu3DAI t oNi s を 舐 腕 、片 とした 場 合、 庄 縮 時の 試 験 片 温 産が7401〈 で は, ひ ず みに 関 わ らず 結 品 化が 生じてい る. さ ら に, ひ ず み が0. 6を 越 える と 績晶 化が 進 行す る こ と が 判 明し た, 740Kに 加 熱 し た 試 験片 は, ア ニ ー リ ン グしても( ひ ず み0で も) す でに 結品 化してい る こ と から, 過 冷 却 液 体 域の 高 温 領 域に 加 熱 し た こ と に よ る 結 晶 化 と, ひ ず みに よ 愚 結 晶化 と の 複 合 的 な 作 用 で 箱 晶 化 が 進 行 してい ると 噌 え ら れる, ま た, 700K, 7201く に おい て, ひ ず み が0. 6を 越え る と 鞘l N化 が 生じ る.

ひず みに よ る 結 品 化 の 原 因と し て は1ひ ず みによ る 非 晶 質 構 造 の 変 化 が 考 えら れ る の で, 動 径 分 布聞 数に よ る 局 所 構 造 解 祈 など によ り, 構 造 の 愛 化を 艀 し く 調 べる 必 要 が ある. ま た, 第3. 3節 で 述 ぺた よ う に 活 性 化 エネ ルギ の 測 定 結巣 から ぱ, よ り非 晶 質 相が 寮 定 で 訪る と 考え ら れるZr 55Cu3DAI I oNi s に ひ ず みt ご よ る 結品 化 が 発 生 す るこ と は, 今 後 詳 し く検 討す る 必 要 が

ある.

一・- 350

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11- 03- 14; 01: 38PMl 大 室法裡事務所 TheOapanSoご ユeしyof MQc hani ごal Eng典heex`P

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金 属 ガ ラ ス の 粕 密・微細 加工に関 す る 研 究

5, Zr 甚 金 属 ガ ラ ス の 精 密 成 形

Zr 基 金 属ガ ラ ス の 過 冷 却 液体 域に お ける成 形 精度 を 鯛 べる ため に, 直 径8mmの 超 硬 合 金 製の 籾 密 研 磨 球( 形 状 糟度0. 2μm) を 金 型と し て, 過 冷 却 液 体 域で の 成 形 実験E・ 青 っ た. 10A: Paの 頁 豊 中に お い

て, ポ ン チ 岳力30MPa, で の 成 形 突 験と し た. 試 験片 は ♪ 圧 縮 賦 験と 同 搬 の も の を 用い た. 成 形 は 聞 幽成 形 とし, ポ ン チ愛 位 が3mmと なる ま で 成 形を 行っ た. 成 形面 の 形 状 精 度 は, レ ー ザ干 渉 計( Zygo社 GP正XP) に より, 成 形 面と 基 準レ ンズ面( 形 状 精 度

λ/ 20以 内) と の 形 状 の 垂 を測 定 し, Peakt oVnl 】ey 佃( PV値) に よ り 形 状を 評 価Lた. : の 卿, 成 形面 の 刷辺 部 に 盆 じ る バリ の 影 智を 排 隙 する範に, 成 形 体 外 周より0. 5mm小 さ い 範囲 を 測 定し た, さ ら に, 成 形に よ る 結禺 化を 評 価す る た めに, 成 形面 の 経より

1, 5mmの 部 分を 切 断し, X線 回 折 に て 結 晶 化 耶を 測 定 し た. 図8に ホ 炎 験で 使用し た2租 類 のZr 甚 金 属 ガ ラス の 各 賦 験 温 度に お ける形 状 精 度と 結 晶 化 摩を 成 形 時間と 共 に 示 す.

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図8よ りZr 75CUI gAl b' の 場合, 成 形温」愛700Kで 成形回 の 形状 糟 度O. 27μl n, Zr ・j SCu30Al i oNi 5の

20S5 場 台, 成 形 温 麿730Kで 成 形 面 の 形 状 精度0, 24 μt nを 遡 成 した. 金 型とした 糖 留 研 廟 球の 形 状納 度は

O, 2μmで あ る からv金 型 の 形 状 をO, 1μ 血 以 下 の 精 颪で 転 耳し て い 愚. 一 般 の 酸 化 物ガ ラ ス 成 形 で の 成 形 レ ン ズ の 形状 精 慶 はO. 6μm程 度( ? ・2} であ り,

Zr 苗 金 属 ガ ラ ス の 成 形 面 は 反 射ミ ラ ー 算の 各 種 光 掌 顕 子に ト分 使用 出 来る 精 度 で ある と 盲 え る. し かし, い ず れ のZr 基 金 属 ガラ ス の 場合 も, 成 形 温 度の 下 限 と 上 限 で は 威 形 面 の 形 状 測瓜 が 大 きく低 下 してい る,

ま た, 結 晶 化 串 は ♪ 成 形 温 麿と 共に 増 加 し, 両Zr 基 金 属ガ ラ ヌ は, と も に 最 大70%租 度まで 結品 化し て いる. こ の 原 因と し て, 成 形 時 間 が 絃 贔 イヒ開 ク台ま で の 時 間 を 禮 過 し, 加 熱に よ る 紬品 化 が 迦行し た 可 能 性 が 考 え ら れる. 成 形 時 聞と 成 形 時 の 温度 の 湿 適 値を ‡渠 紫 す る た め に は, 今 後さら に 園4のT. T. T曲 線の 測 定 方 法 の 再 検 肘 など 轟精 臓を 高 める 必 要 が ある.

実 験 結 果 で は, 成 形 温 度 の 上 限 ・下 阪 に おけ る 戯 形 面 の 形 状 精 座 が 悪 化し て い る, 両Zr 甚 虚 属ガ ラ スと も 成 形 温 度 が 低い 場 合 は 金 属ガ ラ ス の 粘 度 が 大 き く 》 流 動 特 性 が 悪 い た め, 成 形面 の 形 状 精 度が 低 下 し たと 考 えられる.

図2お よ び 図7の 廉吉1身乙より, Zr s s Cu30Al l oNi 5`ま, f i 式 験片 温 度740Kで は 圧 縮変 形 と加 罫轟の 相 互 作 用に よ

り結 晶化 が 逸 行し, 血 値 が 低 下す る こ と が わ かる. こ れに より成 形 温 度が 高い 場 合ぱ, 結 品 化 が 進 行 し 流 励 特 性 が 悪 化し た た め 成 形 面の 形 状 綱 度 が 低 下 し た と 考 え ら れる. 同 柚} にZr 75Cul 蛤1Gも, 加 熱に よ る 結 晶 化 の 進 行に 伴 い 流 動 特 性が 悪 化 し 置成 形 面 の 形 状 糟 度 が 低' 下したと! 暫えら れ る,

締 晶 化 寧と 流 動 特 性の 閻 係に つ い て は, 今 後さ ら に a羊し く 調 査 す る 必要 があ る. ま た, 結 晶 化 をより少 な くす る た め に は 成 形 圧力 を 高め 、 成 形時 間を 短 縮 する こ と が 宥 劫 と 考 えられる か, 精 齋 成 形 の 場 合, 成 形 圧 力 に よる 金 型 の 変 形を 暫 慮 する 必 要 か ある.

以 上 の 結 果 か ら, よ り大き いパ ルク 初 が 鋳 造 可 能 で あり, 績 品 化 の 膨 留を 恐 小 隈として 高い 成 形 糟 度 を 符 られるZr う5Cu30Al l oNi 5を 用 い て, 直 径10mmの 凹 面ミ う 一を成 形 し た 、 成 形 条 件は 瓦 甕 崖 ユ0' BPa, 成 形 温 慶730K, 成 形 圧 力30MPas 成 形時 間4

60秒 以 内 とした. 図9に 成形 体 の 外 観と 轟 而 形 状の 測 定 霜果 を 示 す.

図9よ り, 成 形 休 表 面 は 良 好な 饒 面 に 成 形さ れ, 成 形 精 度P▽ 値0. 5μm, 表 面 粗 さ90nmRmaxを

連 威 したこ と が わ かる. 特 にミ ラ ー 周 辺 部は シ ヤ ーブ に エッ ジ 部 が 成 形さ れ て お り, 酸 化 物ガ ラス では 達 成 困 難 な 複 雑 形 状の 成 形の 可 能 性が 承さ れ てい る 。

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6. 結 言

本 研 究 で は 二 租 類 のZr 幽 金 届ガ ラ ス を 用 い て, 過 冷 却 液 体 城 で の 特 性, 加 工 性を 脚 査し た. ま ず 圧 緬 応 力Lド に お ける 流 助 将 性, 圧 縮 ひ ず みに よ る 結品 化 率を 測 矩 し た. さ ら に, 過 冷 却 液 休 城に お け る 成 形 糟 度を 鯛 べ, 応 用 例と し て 精 密光 学 讃 子( 凹 面ミ ラ ー) の 成 形 加 工を 試 み た. 検 討 の 結 果 ♪

ユ) 本 実 験 で 用い た 二 種類 ζわZ, , r 鰯 金 属ガ ラ ス は 過 冷 却液 体 領 域に おい て 高い 温 匿 安 定 性を 示し, 圧 縮 応 力 下で ひ ず み 迎 度感 受 性 指 数m≧0. 3の 甜 塑 性 流 動 を 示し た. 特 に 変 形 初 期で はmニ1の 二. L- 一ト ン 流 体 の 粘 性流 助 を 示 し た.

こ の 蒔冒 過 冷 却 減 体 の 活 性 化, : A; i Nル ギ はZr 7s CULgA16 : 2, 5×10δJ / mo1} Zr 55Cu30AI l oNi t . 二4. 1xl O5」/ 1001で あ る, Zr 誌 金 属 ガ ラ ス の 過冷 却 液体 域に お け る 粘 性 の 温 度に 対す る 感 愛 性, 過 冷 却 液 体 域で の 粘 駐も 糊 密 威 形 時 の 酸 化 物 ガ ラス と 同 程 度 で あり, 酸 化 物ガ ラ ス と 陶 様 の 精 密 成 形 加 工 が 可 能 で あ る.

2) Zr s s Cu3et Xl l oNi 5は 過 冷 却 液 体 域 で の 圧 縮 変 形 に よ り絡 晶 化 が 進 行 す る 、 結 晶 化 が 発 現 する 境 界 条 件 は, 試 験片 温 度720K∼740K/ s ひ ず み0. 6∼ 0. 7と 考 えられるE賦 駅片 温 庭720K以 下に お い て は ひ す みO、6程 度ま で は 縞 品 化を 防l hし つ つ 成 形 可 能で δうる. ま た, Zr 75Ct i 1" Al bt ・es は 冒圧 縮 礎 形に よる 結品 化は 見ら れ な か っ た.

3) 30MPaの 低 応力 下 で二 租類 の2r 舞 金 属ガ ラ スの 糟密 成 形 性を 圃 聾 し た. そ の 緬 果. 2r 75CUi gA】6 の 場 含は 成 形 温 度700Kで, Zr s r " Cu30Al i oNi 「Dの 場 台 は 威 形温 厘730Kで, 結 晶 化を 最 小 限としつP, 成 形 面 の形 状 精 度0. 1μm以 下を 連 成 した.

4) Zr f J s Cu3aAl i c Ni 5を 用 い て直 径10mmの 凹 面 ミ ラ ーを 成 形 し1成 形 面 の 形 状 綱 胴は0. 5μm, 展

面 粗 さ90nn1㎞axを 実 現 し, 高 畑度 ・複 雅 形 状部 品、 各 種命 想な ど へ の 応 用 が切 能 で ある こ と を 実 舐 した 。

謝 辞

準 研 究 の 一 部 は, 平 成 八 年 度 新 技術 串策 団 く現 科 学 技 術 振 興 耶 薬 団) , 展 開 拭 験 制 度 「金 属ガ ラ ス の 応 用 」 の 研究 助 成を 受 け, オ リ ン パ ス 光 学 工. 菓 に おい て 実 施 さ れ た,

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